7月2日,四川中氟能新材料科技有限公司六氟化硫高纯电子级气体项目环境影响报告书征求意见稿公示。
项目名称: 六氟化硫高纯电子级气体项目 ;
建设地点: 四川雅安经济开发区 ;
建设投资: 5232万元 ;
建设性质: 扩建;
建设单位: 四川中氟能新材料科技有限公司 ;
建设内容: 项目拟 扩建1条5000吨/年高纯六氟化硫生产线 ,同时副产40%氢氟酸和氢气,扩建后高纯六氟化硫产能达到10000吨/年。
高纯六氟化硫是一种用途广泛的新兴工业材料,在常温、常压下呈气态,装瓶后为高压液体,无色、无臭、无毒、不燃,具有良好的化学稳定性和热稳定性、卓越的电绝缘性能和灭弧性能,其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍,击穿电压是空气的2.5倍,灭弧能力是空气的100倍,是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。
电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,被大量应用于微电子技术领域,作为一种理想的电子蚀刻剂,被广泛应用于电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中,用于等离子刻蚀及清洗剂。
来源:雅安 经开区管委会