近日，2021年度河北省科学技术进步奖总评结果出炉，中国船舶集团第七一八研究所”集成电路用含氟高纯电子气体制备技术与产业化”荣获科学技术进步奖一等奖。

中船派瑞特气公司肥乡特种气体生产基地

集成电路产业竞争事关国家战略安全，电子特气在集成电路制造得离子注入、蚀刻清洗、薄膜沉积等多个关键工艺都是不可或缺的关键原材料之一，被称为芯片行业的“粮食”和“血液”。七一八所特气项目组在国家重大科技专项和河北省科技计划项目支持下，以“服务国家战略、引领行业发展“为己任，突破国外技术垄断，攻克了含氟高纯电子气体国产化“卡脖子”技术难题，产品已规模化应用于多家主要芯片制造商，实现了国内产业链自主供应，保证了国家集成电路产业链安全。

该奖项的获得，充分体现了七一八所在国内集成电路用高纯电子气体领域的地位。七一八所将继续以解决电子特气“卡脖子”问题为己任，持续进行核心技术攻关，将高纯电子气体国产化开发与集成电路生产工艺深度融合，踔厉奋发，笃行不怠，奋力谱写科技创新发展的新篇章！

来源：科技与信息化部